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光栅数显系统在点位测量中的误差分析及改进措施
作者：中华模具… 文章来源：不详 点击数： 更新时间：2008-3-12
测量次数 1 2 3 4 5 测量结果 200mm
+1μm 200mm
+4μm 200mm
+8μm 200mm
+2μm 200mm
+10μm 误差值 1μm 4μm 8μm 2μm 10μm
表2 实验测量结果表
从表2的测量数据来看，测量精度超出设计精度，测量数据的离散性大，重复精度很差，且稳定性差(其他两轴方向Y、Z也有类似的结果)。在测试中还发现误差的大小与测量时测头与工件的接触速度很有关系，速度大，误差大，当速度为零时误差在允许的范围内，测量结果很好，测量误差小于1μm且重复性很好。这个测量结果与设计指标相差甚远，排除了其他方面的原因，通过对光栅数显表进行分析，认为数显表的软件的延时是产生误差的原因。
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